MEMS圧力センサ活用の密閉度検査装置

MEMS圧力センサ活用の密閉度検査装置とは

高性能で非常に小型なMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)圧力センサを活用して圧力の変化(差圧)から漏れがあるかと判定する装置です。

(MEMS: 機械要素部品、センサ、電子回路等を一つの基板に乗せて集積しているデバイス。MEMS圧力センサの特徴を生かして圧力変化測定装置に活用したもの)

CW装置概要

CWの特徴は下記の図のように検査対象製品の外部密閉空間(測定空間)の圧力変化を測定することで製品の漏れの有無を判定するものである。

測定する測定空間容積はできるだけ小さくし、圧力変化の感度を高めます。

形状の異なる製品に柔軟に対応できるよう、シリコンラバーを使いそれで覆うことで測定空間を形成しております。

装置の主な構成要素

MEMS圧力センサ基板

   *製品をシリコンラバーで覆い封止する測定部

   *真空ポンプ

   *真空ボンベ(サージタンク)

   *圧力調整バルブ等

   *MEMS圧力センサと計測CPU

   *PC&アプリケーションソフ

MEMS圧力センサ基板

装置の特色

   ▶シリコンラバーを使うことで検査対象の製品の形状には柔軟に対応可能

    今まで、全数検査しづらい製品への検査精度の改善。

    (小さなサイズの対象製品、薬品容器や食品包装など)

   ▶液体が入っている検査対象製品にも対応。製品の設置向きを変えられる。

   ▶圧力センサは極小(2mmx2mm)。装置設計の自由度が高い

   ▶分解能:0.025Pa 絶対精度:±0.5hPa、相対精度±0.025hPa

測定方法

人間ドック検査薬ボトル測定

人間ドック検査薬ボトル測定

測定グラフ(ボトルからの漏れによる圧力変化)