MEMS圧力センサ活用差圧方式漏れ検査装置の開発

2019年8月に品川区より新製品・新技術開発促進事業の助成として承認されました「MEMS圧力センサ活用の密閉度検査装置の開発・設計構想」の試作装置を

2020年2月に完成させ実証試験を経て最終報告書を品川区に提出致しました。

圧力変化を基板型の圧力センサの高分解能でとらえ微小な漏れの検出が可能であること確認できました。

本装置の強みは、医薬品ボトルの漏れや機械の先端部など非常に小さなものの漏れやいままで検査が難しかった圧力を負荷できない対象物を検査できることにあります。

お客様から種々製品サンプルで試し、自動装置に組み込めるよう検証および改造を続けております。

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